|
|
В полупроводниковой, микроэлектронике, фотоэлектрической, фармацевтической и других высокочистых производственных отраслях,обычная вода с обратным осмосом (RO) часто недостаточно чиста для критических производственных процессовДаже после обработки RO в воде могут оставаться следы растворенных ионов, таких как натрий, хлорид, кальций, кремний и углекислый газ.
Вот гдеЭлектродионизация (EDI)становится важным.
EDI - это технология непрерывного деионизации, которая объединяетионобменная смола, ион-селективные мембраны и постоянное электрическое поледля удаления остаточных ионных загрязнителей из проникновения РО.
При правильном проектировании и эксплуатацииСистема сверхчистой воды RO + EDIможет обеспечивать стабильную воду с высокой резистивностью, исключая при этом обычную кислотную и каустическую регенерацию, требуемую обычными системами обмена ионами с смешанными ложами.
Для очистки воды электронного класса EDI является важным мостом между первичной опреснением и окончательной полировкой сверхчистой воды.
Основная функция ЭДИ заключается в удалении небольшой концентрации растворенных ионов, оставшихся после обратного осмоса.
Типичная электронная система сверхчистой воды может использовать следующую конфигурацию:
Подсказка для мобильного:Прокрутите горизонтально, чтобы просмотреть полный процесс UPW.
RO выполняет основную работу по опреснению, в то время как EDI обеспечивает дальнейшую ионную полировку.
В зависимости от качества питательной воды и конструкции системы вода из продукта EDI обычно может достигать проводимости ниже0.1 μS/см, в то время как хорошо спроектированные системы могут производить воду сопротивляемостью приближающейся15 ≈ 18 МΩ·см.
Для полупроводниковых приложений, требующих качества воды близкой к18.2 MΩ·cm, дополнительные технологии полировки могут быть установлены ниже EDI.
Таким образом, ЭДИ не следует рассматривать как изолированное устройство обработки.процесс обработки сверхчистой воды.
Модуль EDI содержит несколько важных компонентов:
Проникновение РО в модуль ЭДИ протекает через камеры, заполненные смолой для ионного обмена.
Остатки ионов в пронизывающем РО временно улавливаются ионобменной смолой.
Катионы:Na+, Ca2+, Mg2+ и другие положительно заряженные ионы.
Анионы:Cl-, SO42-, HCO3− и другие отрицательно заряженные ионы.
Резина обеспечивает эффективный путь для ионного транспорта и помогает удалять чрезвычайно низкие концентрации растворенных загрязнителей.
Электрическое поле постоянного тока применяется через модуль EDI.
Ионы перемещаются через слой смолы к соответствующим ионно-селективным мембранам.
Мембраны катионного обмена позволяют положительно заряженным ионам проходить, ограничивая анионы.
Анионные обменные мембраны позволяют пропускать отрицательно заряженные ионы, ограничивая при этом катионы.
Благодаря этому устройству ионы переносятся из камер с очищенной водой в соседние концентратные камеры.
Поток концентрата сбрасывается или, в зависимости от конструкции системы и требований к водному балансу, может быть частично восстановлен.
Одним из главных инженерных преимуществ EDI является его способность непрерывно регенерировать ионную смолу электрически.
Эти ионы непрерывно регенерируют ионную смолу внутри модуля.
В отличие от обычных деионизаторов смешанного лежа, EDI обычно не требует периодической регенерации с использованием большого количества соляной кислоты и гидроксида натрия.
Это позволяет EDI-системам работать непрерывно при относительно стабильном качестве продукции-воды.
Мембраны ОР обеспечивают отличное отторжение соли, но они не удаляют каждый растворенный ион.
EDI постоянно удаляет ионы, одновременно регенерируя смолу, что делает его подходящим для промышленных процессов, требующих стабильного и непрерывного производства воды высокой чистоты.
EDI существенно уменьшает потребность в обычной кислотной и каустической регенерации, упрощая работу системы и уменьшая обработку химических веществ и производство сточных вод.
Эффективность ЭДИ сильно зависит от качества воды для питания.
| Параметр | Инженерные соображения |
|---|---|
| Проводимость | Должны быть достаточно уменьшены РО вверх по течению |
| Твердость | Должно быть очень низко, чтобы минимизировать масштабирование |
| Свободный хлор | Должны контролироваться для защиты мембран и смолы |
| СО2 | Должны контролироваться для эффективной работы EDI |
| Кремний | Должен оставаться в пределах конструкции модуля |
| ПОК | Предпочтительно низкая органическая нагрузка |
| Температура | Сохраняется в пределах рабочего диапазона EDI |
На мобильных устройствах прокрутите горизонтально, чтобы увидеть полную таблицу.
Фактические допустимые значения всегда должны соответствовать выбраннымСпецификации производителя модуля EDI.
Вот почему предварительная обработка и проектирование RO напрямую влияют на надежность и срок службы EDI.
Для проекта сверхчистой воды электронного класса практическая конфигурация может включать:
Для критических применений полупроводников качество воды должно контролироваться не только на выходе EDI, но и в конечном месте использования.
Складные резервуары, трубопроводные материалы, мертвые ножки, микроорганизмы, растворенные газы и частицы могут потенциально ухудшить качество воды после этапа EDI.
Используется в рамках производства UPW для очистки пластин, промывки, химической подготовки, процессов CMP и других производственных операций.
Предоставляет высокочистую воду для очистки кремниевых пластин, текстурирования, ополаскивания и производства солнечных батарей.
Поддерживает очистку стеклянной подложки и точное полоскание, где ионное загрязнение должно быть строго контролировано.
EDI может быть интегрирован в системы, обслуживающие производство печатных плат, MEMS, датчики, оптические компоненты и точные электронные процессы.
При каждом применении полная конфигурация обработки должна быть выбрана в соответствии с анализом сырой воды, требуемой спецификацией продукта-воды, емкостью, скоростью восстановления,и требований к месту использования.
Технология EDI улучшает качество сверхчистой воды путем непрерывного удаления остаточных ионных загрязнителей после обратного осмоса.и электрическое поле, EDI обеспечивает непрерывную деионизацию без обычной кислотной и каустической регенерации смолы.
Однако для производства электроники для получения надежной сверхчистой воды требуется больше, чем просто установка модуля EDI.
Правильно спроектированная система должна интегрироватьпредварительная обработка, ОР, ЭДИ, снижение TOC, окончательная полировка, онлайн-мониторинг и распределение высокой чистотыв соответствии с требуемой спецификацией воды.
CHONGYANG Water предоставляет индивидуальные системы обработки воды RO + EDI и сверхчистые системы обработки воды для полупроводников, фотоэлектронной энергетики, электроники и прецизионного производства.
Обратитесь к нам с качеством питьевой воды, требуемой мощностью UPW, целью сопротивления, требованиями TOC и условиями места использования.Наша инженерная команда может разработать индивидуальное решение сверхчистой воды для вашего производственного процесса.
Свяжитесь с CHONGYANG WaterКонтактное лицо: Ms. Yanni.Wang
Телефон: 86 15900488030
Факс: 86-21-66126659